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“全國(guó)那么多研發(fā)機(jī)構(gòu)耗時(shí)七八年都沒(méi)研究出來(lái)，沒(méi)想到一個(gè)縣城企業(yè)做出來(lái)了。”這是中國(guó)科學(xué)院院士韓布興在一次科技成果評(píng)價(jià)會(huì)上，對(duì)成武易信環(huán)保科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“易信環(huán)保”）硼同位素項(xiàng)目的高度評(píng)價(jià)。

據(jù)易信環(huán)保董事長(zhǎng)趙東方介紹，該公司硼同位素分離與富集項(xiàng)目一舉攻克兩個(gè)“卡脖子”技術(shù)。一是在國(guó)內(nèi)首次實(shí)現(xiàn)高豐度核級(jí)硼-10酸工業(yè)化量產(chǎn)。二是穩(wěn)定量產(chǎn)的高端三氟化硼-11電子特氣（高純度、高豐度）填補(bǔ)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)空白，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主可控注入了國(guó)產(chǎn)之“氣”。

三氟化硼-11電子特氣，這個(gè)大眾較為陌生的名詞，卻堪稱芯片中的“血液”。高豐度、高純度三氟化硼-11是高端芯片、面板等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中重要的特種氣體材料，其豐度和純度直接決定芯片的良品率和性能。“在我們量產(chǎn)之前，高端三氟化硼-11（高豐度、高純度）只有國(guó)外的兩家公司能生產(chǎn)，我國(guó)長(zhǎng)期依賴進(jìn)口。”趙東方介紹。因技術(shù)受制于人，故而前幾年國(guó)外頻頻對(duì)我國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)“斷氣”，令不少企業(yè)生產(chǎn)研發(fā)陷入僵局。

易信環(huán)保成立于2014年，最初的主營(yíng)產(chǎn)品是環(huán)保增塑劑和飼料添加劑，2015年開(kāi)始接觸硼同位素項(xiàng)目。中試成功后，2019年初，易信環(huán)保組建研發(fā)攻堅(jiān)團(tuán)隊(duì)，正式開(kāi)啟了這場(chǎng)國(guó)產(chǎn)替代“從0到1”的突圍。不同于實(shí)驗(yàn)室小試，工業(yè)化量產(chǎn)需要突破四大難關(guān)：工藝設(shè)計(jì)、制作設(shè)備、安裝以及調(diào)試。

“實(shí)驗(yàn)室能做到95%豐度已是極限，但我們要突破99%，還要保證量產(chǎn)時(shí)品質(zhì)穩(wěn)定，難度極大。”趙東方說(shuō)。因?yàn)閲?guó)際上的技術(shù)封鎖，所以他們?cè)谘邪l(fā)時(shí)根本沒(méi)有同類(lèi)參考，出現(xiàn)問(wèn)題只能自己憑經(jīng)驗(yàn)想盡辦法解決。高校和科研院所的行業(yè)專家、相關(guān)的論文文獻(xiàn)、國(guó)內(nèi)外的報(bào)道資料，都是他們的參考依據(jù)。但這些只能解決一些零星問(wèn)題，系統(tǒng)性的難題還需要他們一個(gè)個(gè)去“死磕”。研發(fā)期間，整個(gè)團(tuán)隊(duì)已數(shù)不清經(jīng)歷過(guò)多少個(gè)不眠之夜。

“現(xiàn)在，全國(guó)都在期待著你們成功！”在2020年全國(guó)工業(yè)氣體行業(yè)年會(huì)上，一位業(yè)內(nèi)專家緊握著趙東方的手鄭重地說(shuō)。當(dāng)時(shí)，易信環(huán)保的高端三氟化硼-11還未成功量產(chǎn)，但行業(yè)內(nèi)都已經(jīng)知道了這個(gè)敢啃硬骨頭的企業(yè)。“那一刻，我忽然感覺(jué)自己不是一個(gè)人或一個(gè)團(tuán)隊(duì)在‘戰(zhàn)斗’。”趙東方說(shuō)，也是從那時(shí)起，他背負(fù)上了一種神圣的使命、一份厚重的責(zé)任。

終于，在2023年9月，高端三氟化硼-11電子特氣成功實(shí)現(xiàn)達(dá)標(biāo)量產(chǎn)。這次成功不僅是一家企業(yè)的成功，更是我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)又一次“挺起脊梁”。背后是趙東方團(tuán)隊(duì)1700多個(gè)日夜的嘔心瀝血和9000多萬(wàn)元的真金白銀。“我們是破釜沉舟，不破樓蘭終不還。”趙東方對(duì)于國(guó)產(chǎn)替代的執(zhí)著從始至終。

菏澤也為這個(gè)項(xiàng)目“鉚足了勁”。“市委書(shū)記張倫曾專門(mén)批示相關(guān)部門(mén)要及時(shí)跟蹤我們這個(gè)項(xiàng)目的進(jìn)展，做好相關(guān)服務(wù)。”趙東方說(shuō)，國(guó)內(nèi)從事硼同位素富集專業(yè)的高級(jí)技術(shù)人員較少，對(duì)口人員難以匹配，成武縣在國(guó)內(nèi)外高校人才引進(jìn)上給予了企業(yè)很大幫助。

在政策爭(zhēng)取上，有關(guān)部門(mén)第一時(shí)間幫助企業(yè)協(xié)調(diào)、申報(bào)。去年7月份，市工信局積極向上溝通，及時(shí)將易信環(huán)保硼-10酸項(xiàng)目先后錄入《省重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄》和《國(guó)家重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄》。在資格審定階段，全程跟蹤指導(dǎo)，組織專家協(xié)助企業(yè)完善申報(bào)材料，最終企業(yè)成功入選國(guó)家2024年首批次新材料保險(xiǎn)補(bǔ)償項(xiàng)目名單。“我們公司的新材料保險(xiǎn)費(fèi)用可享受?chē)?guó)家80%補(bǔ)貼，補(bǔ)貼額度達(dá)240萬(wàn)元。”趙東方說(shuō)。

目前，易信環(huán)保可穩(wěn)定生產(chǎn)99.99%豐度、99.999%純度的三氟化硼-11電子特氣，同時(shí)硼-10酸的豐度可達(dá)99%、純度可達(dá)99.95%，產(chǎn)品已向國(guó)內(nèi)相關(guān)企業(yè)供貨。

令人振奮的是，易信環(huán)保已經(jīng)啟動(dòng)二期規(guī)劃：擴(kuò)建年產(chǎn)30噸三氟化硼-11氣體(含高純電子特氣）、年產(chǎn)100噸96%豐度硼-10酸生產(chǎn)線。“前段時(shí)間，一家臺(tái)資半導(dǎo)體企業(yè)找到我們，指名要99.99豐度的三氟化硼-11電子特氣。”趙東方說(shuō)，隨著我國(guó)國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程不斷加快，企業(yè)的發(fā)展前景廣闊，提高產(chǎn)能刻不容緩。

烈日高懸，云淡風(fēng)輕，廠區(qū)一派繁忙。一輛輛運(yùn)輸車(chē)陸續(xù)載著銀色鋼瓶駛向全國(guó)各地，瓶身上易信環(huán)保的標(biāo)識(shí)熠熠生輝。可以預(yù)見(jiàn)，在不久的將來(lái)，一定會(huì)有越來(lái)越多的高端“中國(guó)氣體”在全球市場(chǎng)與國(guó)際頭部企業(yè)同臺(tái)競(jìng)技。

記者 馬源劭